真空清洗机也叫真空脱气超声波清洗机，其具体工艺为：清洗时首先在常压下把被清洗的物体投入到清洗液中，待清洗液渗透到工件的细孔或深孔中，然后进行真空脱气处理，在减压抽真空过程中，促使清洗液中溶解的微小气泡随着气压的降低，在细孔中膨胀，进而把污垢一同带出，然后在真空状态下，启动超声波发生装置，利用超声波在脱气后的清洗液中良好的清洗能力剥除污垢。
然后开动循环泵使清洗液在真空状态下，发生循环流动并通过过滤器把污垢吸附清除。为提高清洗效果还可以反复进行减压脱气和恢复到常压状态的循环操作，以提高超声波的传送效率和增强对污垢的剥离效果。
在超声波清洗的媒介中（水或者溶剂）都会溶解一定量的空气，研究发现这些溶解的气体在超声波清洗中起着负面作用，主要表现有以下三个方面。
1、不利于空穴作用的发挥
在超声波清洗时实际会产生两种空穴。一种是溶解在清洗液中的气体气化形成的的气泡性空穴；一种是清洗液溶剂蒸发的蒸汽形成的真性空穴。
由于气泡性空穴的体积小，其破裂时产生的冲击波也比较弱。而蒸汽产生的真性空穴在破裂时产生的冲击波要强10倍以上。在清洗介质中溶解有很多气体时，产生的空穴主要是气泡空穴。只有在脱气排除这些气体后才有利于产生真性空穴。并利用真性空穴强大的冲击波粉碎和剥离附着在工件上的顽固污垢。
2、不利于超声波振动加速度作用的发挥
使用高频超声波清洗，是清洗超精密工件的重要手段，其原理是利用超声波使清洗液的振动加速度大大提高来达到清洗目的的。
当巨大的振动加速度施加到工件上时，其表面上的污垢粒子即易于被剥离。由于高频超声波对工件的损伤小，所以常用于半导体和液晶显示器基板等精密复杂工件的清洗。但如果清洗液中溶解有很多气体时，超声波在清洗液中的传播速度就会发生衰减，不能发挥其独特的清洗作用。因此在使用高频超声波清洗时也要进行真空脱气处理。
3、溶解气体会造成清洗工件的氧化
溶解的气体中含有相当数量的氧气，它会造成在超声波清洗过程中金属工件的氧化或生锈。
通过真空脱气处理可以使清洗液中的残氧量大大降低，不仅可以减少清洗和干燥处理的时间而且可以有效的解决防锈的问题。
采用真空发生器等真空脱气装置可将各类清洗剂中的残存溶氧量降到2mg/L以下，经过真空脱气处理后的清洗剂用于超声波清洗的效率大大提高，特别是对形状复杂、孔隙细小的精密零件清洗效果尤为明显。
其中包括两种作用：
一是利用脱气过程中，气泡在细孔中膨胀时脱出把污垢带出的作用；另一种作用是利用上面介绍的脱气后的清洗液具有的良好的清洗能力。
